burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析

8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*50nl/min95%Ar+5%H2,標定壓力4bar,鋁基座,G1/4寸,PROFINET

控制器| 95% Ar + 5% H2 | 5000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | PROFINET

熱式氣體質(zhì)量流量控制器是一種基于熱傳導原理，通過測量氣體流動時帶走熱量的變化來精確控制氣體流量的設(shè)備。其核心優(yōu)勢在于不受溫度、壓力變化影響，可直接測量質(zhì)量流量，廣泛應用于半導體、新能源、環(huán)保、科研、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域。以下是其技術(shù)原理、行業(yè)應用及選型要點的詳細解析：

技術(shù)原理與核心優(yōu)勢

工作原理

熱式傳感器：內(nèi)置加熱元件和測溫元件，當氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走，測溫元件檢測溫度變化（ΔT）。

流量計算：通過ΔT與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系，結(jié)合PID控制算法，實時調(diào)節(jié)閥門開度，實現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

技術(shù)優(yōu)勢

高精度：誤差通常≤±1% F.S.，重復性達±0.2% F.S.。

寬量程比：支持1:50至1:100的流量范圍。

快速響應：響應時間＜300 ms，適用于動態(tài)調(diào)節(jié)場景。

環(huán)境適應性強：不受溫度、壓力波動影響，適合復雜工況。

行業(yè)應用與典型案例

半導體制造

應用場景：晶圓清洗、氣相沉積（CVD）、刻蝕工藝中的氣體輸送控制。

案例：在CVD工藝中，TMFC精確控制硅烷（SiH?）流量，確保薄膜均勻性，良率提升15%。

新能源

氫能系統(tǒng)：燃料電池中氫氣流量控制，確保反應效率與安全。

光伏設(shè)備：監(jiān)測冷卻氣體流量，優(yōu)化電池生產(chǎn)效率。

科研實驗

實驗室應用：催化劑評價、氣相色譜載氣控制、細胞培養(yǎng)氣體配比。

案例：在合成新化合物實驗中，TMFC穩(wěn)定控制反應氣體流量，數(shù)據(jù)可靠性提升90%。

選型關(guān)鍵參數(shù)

流量范圍：根據(jù)工藝需求選擇量程。

精度與重復性：科研/半導體領(lǐng)域優(yōu)先選±0.5% F.S.精度。

響應時間：動態(tài)調(diào)節(jié)場景需＜100 ms。

材料兼容性：腐蝕性氣體需選耐腐材質(zhì)。

通信接口：工業(yè)場景推薦CANopen/PROFIBUS DP，實驗室可選模擬信號。

認證標準：醫(yī)療設(shè)備需FDA認證，航空航天需FAA/CAAC認證。

burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析